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近日,中國大陸首塊氧化物TFT液晶屏(18.5英寸HD Oxide TFT-LCD)及首塊氧化物AMOLED顯示屏(4英寸WQVGA Oxide AMOLED)在京東方研發成功,同時,相關工藝技術及設計開發也已完成。這標誌著我國氧化物TFT背板技術研製已經達到業界先進水平,也將進一步推動我國在AMOLED等新型顯示産品的研製進程。
氧化物TFT即Oxide TFT背板技術,是與傳統a-Si TFT製程相近的背板技術,它將原本應用於a-Si TFT的硅半導體材料部分置換成氧化物半導體(現在應用最廣泛的是a-IGZO(amorphous Indium Gallium Zinc Oxide, 銦鎵鋅氧化物)來形成TFT 半導體層。
氧化物TFT相對於a-Si TFT具有製備溫度要求低,遷移率高等優勢,可應用於高頻顯示和高分辨率顯示産品,且相對於低溫多晶硅TFT製造領域具有設備投資成本低、運營保障成本低等優點。
特別值得一提的是,氧化物TFT還是AMOLED新型顯示技術研發製造的關鍵技術。AMOLED顯示要解決量産、大尺寸製造等問題,首先需要解決的就是TFT背板開發問題。氧化物TFT技術的成功開發彌補了大尺寸AMOLED背板技術的缺陷,勢必成為推動AMOLED顯示産品進一步量産化的關鍵技術。而應用Oxide TFT技術的液晶屏及AMOLED顯示屏,其綜合性能將遠高於同類a-Si TFT産品。
京東方是我國規模最大的光電顯示技術、産品與解決方案的提供商,在氧化物TFT背板技術、AMOLED新型顯示等領域已取得多項重點專利,處於國際領先水平。據介紹,在此基礎上,京東方已著手開發高遷移率、高穩定性的新半導體材料,並進一步推進高分辨率氧化物液晶顯示及大尺寸AMOLED的技術研發及量産儲備。