上海科研人員“定制”微器件 為新材料應用探路

　　中科院上海技術物理研究所 供圖（圖片説明：覆蓋有鐵電薄膜的半導體器件）　鄭瑩瑩　攝

　　中新網上海1月25日電 (鄭瑩瑩)微電子器件(簡稱：微器件)“潛伏”在人們日常生活中，比如一部普通手機的CPU(中央處理器)裏有多達百億個晶體管(微器件的一種)。據來自中國科學院上海技術物理研究所的消息，該所的王建祿研究員等人，通過新型製備方法，能按需定制微器件，有望加速未來的新型半導體材料的應用。相關成果于北京時間25日在線發表于國際期刊NatureElectronics(《自然·電子學》)。

　　王建祿研究員在上海接受媒體採訪時介紹，傳統的半導體微器件工藝過程十分繁瑣複雜，例如，要通過幾百道甚至上千道的工藝，才能獲得常用的計算機芯片，研究團隊探索的是：如何以簡單的工藝，按需定制微器件。

　　中科院上海技術物理研究所 供圖(圖片説明：王建祿研究員在展示鐵電薄膜層的透光性) 鄭瑩瑩 攝

　　可以這麼描述他們的製備方法：用“納米畫筆”在“畫布”上畫出微器件。這裡的“納米畫筆”指的是納米尺度的針尖。“畫布”則是一種特殊的納米薄膜——鐵電薄膜。

　　“這層具有極性的鐵電薄膜就像一張納米厚度的神奇畫布，運用納米畫筆可以在畫布上任意作畫，畫作就是各類微器件，還可以反復擦寫畫布，這種方法給製備微器件提供了豐富的想象力。”王建祿如是説。

　　中科院上海技術物理研究所 供圖(圖片説明：王建祿研究員(中)和博士研究生吳廣健(左)、伍帥琴(右)) 鄭瑩瑩 攝

　　王建祿同時也指出，這種製備方法適用於幾乎所有的半導體薄膜材料，但由於傳統材料的製備工藝已相對成熟，新方法更適合用於未來新型低維半導體材料的應用上。

　　據悉，這項研究由中國科學院上海技術物理研究所與復旦大學、華東師範大學、南京大學、中國科學院微電子所等多個課題組合作完成。(完)